Analisa Desain dan Perancangan Ruang Vakum Medium Sebagai Media Pembangkitan Plasma Oksigen Menggunakan Gelombang Mikro 2,45 GHZ

Abstract

Sejalan dengan perkembangan teknologi lapisan tipis, berkembang pula teknik penghapusan lapisan tersebut berbasis plasma yaitu plasma ashing. Plasma merupakan fasa mirip gas yang terionisasi. Gas terionisasi pada saat temperaturnya mendekati atau melebihi energi ionisasi atom. Atom – atom tersebut kemudian terionisasi menjadi ion positif dan ion negatif. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk menganalisa sistem kerja dari pembangkitan plasma menggunakan gelombang mikro 2,45 GHz. Reaktor yang terbentuk berhasil digunakan dalam proses pembangkitan plasma, namun belum dapat mempertahankan plasma dalam waktu lama. Pecahnya reaktor diakibatkan karena tidak mampunya reaktor menahan energi dari partikel sebesar 1,623x10 J per partikel per detik. Sehingga reaktor hanya dapat mempertahankan plasma selama ±240 s.