Rancang Bangun Reaktor Plasma dan Studi Pengaruh Laju Alir Gas Oksigen Terhadap Laju Ashing Karbon pada Baja K110

Abstract

Teknologi lapisan tipis merupakan teknologi ramah lingkungan dalam usaha pengurangan sampah industri. Proses re-coating lapisan membutuhkan suatu teknik untuk membersihkan lapisan. Telah dilakukan penelitian rancang bangun reaktor plasma menggunakan gas oksigen menggunakan gelombang mikro 2,45GHz. Tujuan dari penelitian ini adalah mempelajari proses alternatif pembangkitan plasma menggunakan gelombang frekuensi tinggi sebagai media cleaning pada teknologi lapisan tipis. Hasil penelitian menunjukkan bahwa plasma dapat dibangkitkan pada tekanan maksimum di 3 cmHg atau 30 Torr serta plasma oksigen dapat mengurangi kadar karbon pada permukaan baja K110.