Please use this identifier to cite or link to this item: https://repository.ukwk.ac.id/handle/123456789/1765
Title: Analisa Desain dan Perancangan Ruang Vakum Medium Sebagai Media Pembangkitan Plasma Oksigen Menggunakan Gelombang Mikro 2,45 GHZ
Authors: Permana, Antonius Prisma Jalu
Murdiyanto, Danang
Mbulu, Bernardus Crisanto Putra
Keywords: gelombang mikro
plasma
ashing
vakum
mean free path
ionisasi
Issue Date: Mar-2020
Publisher: Praxis: Jurnal Sains, Teknologi, Masyarakat dan Jejaring
Series/Report no.: Vol. 2;No. 2
Abstract: Sejalan dengan perkembangan teknologi lapisan tipis, berkembang pula teknik penghapusan lapisan tersebut berbasis plasma yaitu plasma ashing. Plasma merupakan fasa mirip gas yang terionisasi. Gas terionisasi pada saat temperaturnya mendekati atau melebihi energi ionisasi atom. Atom – atom tersebut kemudian terionisasi menjadi ion positif dan ion negatif. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk menganalisa sistem kerja dari pembangkitan plasma menggunakan gelombang mikro 2,45 GHz. Reaktor yang terbentuk berhasil digunakan dalam proses pembangkitan plasma, namun belum dapat mempertahankan plasma dalam waktu lama. Pecahnya reaktor diakibatkan karena tidak mampunya reaktor menahan energi dari partikel sebesar 1,623x10 J per partikel per detik. Sehingga reaktor hanya dapat mempertahankan plasma selama ±240 s.
URI: http://repository.ukwk.ac.id/handle/123456789/1765
ISSN: 2622-9137
Appears in Collections:Jurnal Nasional Terakreditasi

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
III.A.3.e.2.2 PRAXIS 2(2).pdf406.21 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.